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掌握要點合理使用離子減薄儀

點擊次數(shù):958 更新時間:2021-01-26
  離子減薄儀適用性廣泛,對金屬、非金屬、半導(dǎo)體、礦物、骨骼和牙齒等幾乎所有固體材料都可以用離子減薄技術(shù)來制備透射薄膜樣品。 離子減薄儀中的稀薄氣體氬氣,在高壓電場作用真空環(huán)境下,氬離子穿過盤狀陰極中心孔時,受到加速與聚焦后產(chǎn)生高能粒子束轟擊樣品表面,高能離子與樣品表面發(fā)生彈性碰撞,樣品表面原子能量增大高于該原子的逸出功時,便飛離樣品,這樣就使樣品表面不斷失去原子,達到減薄的效果。
 
  離子減薄儀的規(guī)范操作:
 
  一.開機程序
 
  1.裝換樣品:樣品室放氣,取下頂蓋,將預(yù)減薄的樣品裝入樣品架后,封頂蓋,關(guān)嚴放氣閥。
 
  2.啟動機械泵,慢旋開V4閥,開真空計電源。
 
  3.預(yù)抽真空達到100Pa時,打開V5閥,并開V1閥,關(guān)閉V4閥。
 
  4.通冷卻循環(huán)水,開分子泵,略遲開啟動開關(guān)。
 
  5.樣品室真空抽至2×10-3Pa時,調(diào)樣品轉(zhuǎn)動刻度盤至適當(dāng)位置,啟動樣品轉(zhuǎn)動開關(guān)。
 
  6.啟動高壓轟擊開關(guān),將高壓調(diào)至4~5KV。
 
  7.緩慢旋開氬氣微調(diào)閥,使之達到正常工作狀態(tài),即高壓4~5kv,回路電流≤0.8mA,開始減薄。
 
  二.關(guān)機程序
 
  1.關(guān)氬氣,退下高壓,關(guān)高壓轟擊開關(guān)。關(guān)樣品轉(zhuǎn)動。
 
  2.關(guān)閉分子泵停止開關(guān),關(guān)閉真空計電源。
 
  3.關(guān)閉V2閥,關(guān)V5閥,關(guān)V1閥。
 
  4.停機械泵,關(guān)電源開關(guān),關(guān)閉冷卻水。
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